電動スライダEZSシリーズ クリーンルーム対応
小型、高剛性、簡易防塵構造の電動スライダです。
モーター部にαSTEP AZシリーズを搭載。
ステッピングモーターならではの、高応答、低振動、ハンチングなしの動きを
電動スライダで実現。クリーンルーム対応をご用意しました。
特徴
EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。
簡易防塵構造(クリーンルーム非対応)のEZSシリーズの詳細はこちらをご覧ください。
クリーンルーム対応 (ISO規格 クリーン度クラス3)
低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、ISO規格 クラス3※(FED規格クラス1相当)のクリーン度を実現しました。
※ ISO規格 クラス3について
[ISO規格 クラス3]
低発塵クリーングリース使用
ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。
使用グリースについてはこちらをご覧ください。
少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現
例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。
- ※
- EZSM4、EZSM6の発塵量と吸引量の相関図はこちらをご覧ください。
バリエーション・仕様
電動スライダ、ドライバそれぞれをご購入ください。
電動スライダ
スライダ幅×高さ
[mm] |
型番
|
最大可搬質量
[kg] |
ストローク
[mm] |
電源入力
[V] |
|
---|---|---|---|---|---|
![]() |
54×50
|
EZSM3
|
水平15/垂直7
|
50~700(50mm単位)
|
単相 100-120
単相/三相 200-240 DC24/48 |
74×50
|
EZSM4
|
水平30/垂直14
|
50~700(50mm単位)
|
||
74×66.5
|
EZSM6
|
水平60/垂直30
|
50~850(50mm単位)
|
ドライバ
|
ドライバタイプ |
電源入力 [V] |
---|---|---|
![]() |
位置決め機能内蔵 |
単相100-120 単相/三相200-240 DC24/48 |
RS-485通信付き パルス列入力 |
||
パルス列入力 |
||
EtherCAT ドライブプロファイル対応 |
||
EtherNet/IP対応 |
||
PROFINET対応 |
||
MECHATROLINK-Ⅲ対応 |
単相100-120 単相/三相200-240 |
|
SSCNETⅢ/H対応 |
接続ケーブル/可動接続ケーブルセット
- ・
- モーターから出ているモーターケーブル、エンコーダケーブル、電磁ブレーキケーブルは、ドライバに直接接続できません。
- ・
- ケーブルが屈曲される場合には、可動接続ケーブルをお使いください。
長さ [m] |
|
---|---|
![]() |
0.5 ~ 20 |
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