EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。

簡易防塵構造（クリーンルーム非対応）のEZSシリーズの詳細はこちらをご覧ください。

クリーンルーム対応 （ISO規格 クリーン度クラス3）

低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、ISO規格 クラス3^※（FED規格クラス1相当）のクリーン度を実現しました。

低発塵クリーングリース使用

ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。

使用グリースについてはこちらをご覧ください。

少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現

例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。

※

EZSM4、EZSM6の発塵量と吸引量の相関図はこちらをご覧ください。

電動スライダ、ドライバそれぞれをご購入ください。

電動スライダ

	スライダ幅×高さ [mm]	型番	最大可搬質量 [kg]	ストローク [mm]	電源入力 [V]
	54×50	EZSM3	水平15/垂直7	50～700（50mm単位）	単相 100-120 単相/三相 200-240 DC24/48
	74×50	EZSM4	水平30/垂直14	50～700（50mm単位）
	74×66.5	EZSM6	水平60/垂直30	50～850（50mm単位）

ドライバ

	ドライバタイプ	電源入力 [V]
	位置決め機能内蔵	単相100-120 単相/三相200-240 DC24/48
	RS-485通信付き パルス列入力
	パルス列入力
	EtherCAT ドライブプロファイル対応
	EtherNet/IP対応
	PROFINET対応
	MECHATROLINK-Ⅲ対応	単相100-120 単相/三相200-240
	SSCNETⅢ/H対応

接続ケーブル／可動接続ケーブルセット

・

モーターから出ているモーターケーブル、エンコーダケーブル、電磁ブレーキケーブルは、ドライバに直接接続できません。

・

ケーブルが屈曲される場合には、可動接続ケーブルをお使いください。

	長さ [m]
	0.5 ～ 20

AZシリーズ 多軸ドライバ DC電源入力

AZシリーズ miniドライバ DC電源入力