真空チャンバーの小型化事例

真空チャンバー

課題

真空装置を小型化したい

真空装置を小型化したい

従来の装置

  • 真空チャンバー内でワークを搬送する装置
  • サーボモーターでベルト・プーリーと回転導入機を介してボールねじを駆動
    用途:半導体部品や液晶パネルなどの加工

従来の問題点

  • 真空チャンバー内にモーターを設置できないため、回転導入機などの部品が必要になり、装置が大型になる

解決策

αSTEP ARシリーズ 真空タイプ
真空チャンバー内へのモーター設置で、
装置の小型化を実現

αSTEP ARシリーズ 真空タイプは、真空チャンバー内に設置できるため、駆動部の省スペース化、
装置の小型化ができます。

αSTEP ARシリーズ 真空タイプ

具体的なアプリケーション例

真空チャンバー内へのモーター設置で、装置の小型化


  • 真空チャンバー内にモーターを設置することで、装置の小型化を実現
    ARシリーズ 真空タイプは、高真空(10-5Pa)の環境下で使用できます。
    モーターを真空チャンバー内に設置できるため、回転導入機やベルト、プーリーが不要です。省スペース、装置の小型化ができます。
    大気中にモーターを設置する場合/真空中にモーターを設置する場合
  • チャンバーの汚染防止を考慮した設計
    ガスの発生を抑えるため、モーターの表面は塗装はせず、軸受けに真空用グリースを使用しています。
    主な残留ガスは通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので、真空チャンバー内の汚染を心配することなくお使いいただけます。

    「真空中でモーターを動かしたい」の動画を見る
    (αSTEP ARシリーズ)

  • 残留ガススペクトル
  • 真空チャンバー内でも、モーターの状態をフィードバック可能
    真空対応レゾルバセンサを搭載しているため、サーボモーターと同様に位置情報や過負荷などの状態を監視できます。
    真空対応レゾルバセンサ構造

    真空対応レゾルバセンサ構造

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