ウエハの収納・整頓

ウエハの収納・整頓

ウエハの搬送装置の一部に、電動シリンダを使用しています。動力となるステッピングモーターの高精度位置決めにより、ストッカに正確かつスムーズにウエハを収納することができます。

WEB総合カタログにて、当機構に適した製品の仕様・品名をお確かめください。

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