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テクニカルレポート RENGA 真空用ステッピングモーターとその特性
2008年11月28日時点の情報です。
近年、真空技術は半導体、新素材、宇宙、バイオテクノロジーなどの先端技術を支えるキーテクノロジーとして発展しており、真空環境中での位置決め制御の要求が、ますます高まっています。当社では、この要望にお応えして取付角寸法42mmと60mmの中真空および超高真空用5相ステッピングモーターを商品化しています（図1参照）。
今回新たに、取付角寸法28mmの高真空用5相ステッピングモーターをラインアップしましたので、その諸特性を紹介します。
目次
- 1. はじめに
- 2.真空用モーター
- 2.1.真空とモーター
- 2.2.真空用モーターのメリット
- 3.真空用モーターに要求される性能
- 4.真空用ステッピングモーターのラインアップ
- 5.□28mm高真空用ステッピングモーターの諸特性
- 5.1.回転速度－トルク特性
- 5.2.真空評価装置を使用した諸特性
- 5.2.1.真空評価装置の概要
- 5.2.2.温度特性
- 5.2.3.モーター電流－真空用特性
- 5.2.4.残留ガススペクトル
- 6.まとめ
ここでは、「1. はじめに」の内容のみを掲載しています。
続きは以下よりPDFをダウンロードのうえ、ご覧ください。
全文をダウンロード1. はじめに
近年、真空技術は半導体、新素材、宇宙、バイオテクノロジーなどの先端技術を支えるキーテクノロジーとして発展しており、真空環境中での位置決め制御の要求が、ますます高まっています。当社では、この要望にお応えして取付角寸法42mmと60mmの中真空および超高真空用5相ステッピングモーターを商品化しています（図1参照）。
今回新たに、取付角寸法28mmの高真空用5相ステッピングモーターをラインアップしましたので、その諸特性を紹介します。
図1 真空用ステッピングモーター
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